レーザマシンとシステム

WaferLa바카라 룰 II

NGSフローセル生産のために、最小限の熱損傷で高精度を実現する自動化されたツールを使用して、高速シリコンウェハエッチング、マーキングとガラススクライビング。

WaferLa바카라 룰システムは、ロボットによる部品ハンドリング、自動部品アライメント、レーザソース、ビーム伝送オプティクス、制御と、インターフェースソフトウェアを組み合わせます。 システムコンポーネントは、溶接鉄鋼フレーム内の花崗岩ベースに取り付けられ、最大限の安定性を実現します。

半導体ウェハマーキングとガラススクライビング

レーザソース、部品トランスポート、その他の自動化オプションを選択して、お客様の用途と予算に合ったWaferLa바카라 룰加工システムを構成します。

 

製品仕様

パラメータ

詳細

寸法(縦x横x高さ)

2560 mm x 2315 mm x 2084 mm

レーザソース

超短パルスレーザ

X/Y/Z軸移動量

450 mm x 450 mm x 150 mm

軸速度

最大1000 mm/秒

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