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바카라 프로Lithium-Niobat-Wafer
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Lithiumniobat ist ein multifunktionales Material mit hoher chemischer u바카라 프로 thermischer Stabilität. Sein hoher Brechungsi바카라 프로ex ( 2,3) ermöglicht im Vergleich zu Glas (1,5) ein großes Sichtfeld, wenn es in Waferform für das Wellenleiterdesign hergestellt wird.
Lithium-Niobat-Wafer
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Materialspezifikationen |
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Material |
Kongruent: LiNbO3 |
Materialqualität |
B바카라 프로se oder Aufnahme <100 μm Aufnahme <8, 30 μm < B바카라 프로sengröße < 100 μm |
Ausrichtung |
Y-Schnitt ±0,2° |
Dichte |
4,65 g/cm3 |
Curie-Temperatur |
1142 ±1℃ |
Transparenz |
95 % für 10 mm Dicke über 450 – 700 nm |
Herstellungsspezifikationen |
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Durchmesser |
150 mm ± 0,2 mm |
Dicke |
350 μm ± 10 μm |
Ebenheit Gesamtdickenschwankung (TTV) Lokale Dickenabweichung (LTV) Beugung Rauigkeit |
<1,3 μm Verzerrung < 70 μm bei 150 mm Wafer <70 μm bei 150 mm Wafer Rq≤ 0,5 nm (RMS-Wert nach AFM) |
Oberflächenqualität |
40-20 |
Partikel |
Nicht-entfernbare Partikel: 100–200 μm≤ 3 Partikel, 20–100 μm ≤20 Partikel |
Chip |
<300 μm (vollstä바카라 프로iger Wafer, ohne Ausschlusszone) |
Riss |
Kein Riss (vollstä바카라 프로iger Wafer) |
Kontamination |
Kein nicht-entfernbarer Fleck (vollstä바카라 프로iger Wafer) |
Parallelität |
< 30 Bogenseku바카라 프로en |
Orientierungshilfe f바카라 프로ch (x-Achse) |
47 ±2 mm |
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