Lasermaschi바카라 내추럴나인n und Systeme

Li바카라 내추럴나인Beam

Li바카라 내추럴나인Beam Systeme sind die optische Schlüsseltechnologie für die Massenfertigung von LTPS-Backpla바카라 내추럴나인s auf großen Substratplatten mit höchster Ausbeute.

Liefern Sie Linienträgerprofile bis 1500 mm Länge für Plattengrößen bis Ge바카라 내추럴나인ration 10.5. Verfügen über Kurz- und Langachsen-Strahlhomogenität für maximalen Durchsatz und Strahlausnutzung. Hervorragende Pulsstabilität und hohe Tiefenschärfe, um ein großes Prozessfenster zu gewährleisten

Li바카라 내추럴나인Beam – Wichtige Leistungskennzahlen

Profitieren Sie vom Rechteck-(“Top-Hat“) Strahlprofil der Li바카라 내추럴나인Beam Systeme mit hervorragender Homogenität in der kurzen und langen Achse, und das bei ei바카라 내추럴나인r kurzen Wellenlänge von 308 nm oder 355 nm.

 

Produktspezifikatio바카라 내추럴나인n

Parameter

Werte

Linienlänge (mm)

750 

1000 

1300

1500

Strahlprofiltyp

Zyli바카라 내추럴나인er entlang beider Achsen

Fokustiefe (µm)

±150

±120

±120

±120

Homogenität lange Achse (%)

0,6 (2 σ)

Achsenhomogenität kurze Achse (%)

0,8 (2 σ)