通用바카라 노하우 디시元件
바카라 노하우 디시
使用我们的一维或二维바카라 노하우 디시 (MLA),打造高度紧凑的准直和聚焦系统。
Coherent MLA 通常配置有以正方形或六边形周期性图案排列的单个小바카라 노하우 디시,바카라 노하우 디시间距为几百微米。它们可以使用纳米压印、光刻和玻璃成型工艺进行制造。
바카라 노하우 디시功能
바카라 노하우 디시 可以使用多种材料生产多种结构的 MLA。可以在 6 英寸硅晶圆上大批量生产近红外 MLA。
硅바카라 노하우 디시规格
材料规格 |
|
材料 |
硅 |
反射率 |
≈ 3.42 |
透明度 |
R <0.2% T 99% @ 1260-1340 nm |
바카라 노하우 디시规格 |
|
直径 |
600 ±5 μm |
厚度 |
400 ±10 μm |
间距 |
750 ±1 μm |
通光孔径 |
510 nm |
曲率半径 |
3.0 mm |
锥形 |
0 |
表面粗糙度 |
<5 nm RMS |
바카라 노하우 디시表面轮廓偏差 |
<35 nm RMS |
表面质量 |
刮痕:5/1x0.025(基于 ISO 10110-7) |
崩裂 |
<100 μm |
边缘垂直度 |
90 ±2° |
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바카라 노하우 디시制造能力
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