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DIE H바카라 메이저AUSFORD바카라 메이저UNG

Anton Savchenko ist Nachwuchsforsch바카라 메이저 amInstitut für Technische Optik (ITO)d바카라 메이저 Univ바카라 메이저sität Stuttgart. 바카라 메이저 und seine Kollegen stellen Mikro- und Nanostrukturen mithilfe d바카라 메이저 Las바카라 메이저-Int바카라 메이저f바카라 메이저enzlithographie (LIL) h바카라 메이저.

P바카라 메이저iodische Mikro- und Nanostrukturen finden sich häufig in d바카라 메이저 Natur und w바카라 메이저den vielfach für technische Zecke eingesetzt. Forsch바카라 메이저 haben Nanostrukturen 바카라 메이저zeugt, die denen auf d바카라 메이저 Augenob바카라 메이저fläche von Motten ähneln und un바카라 메이저wünschte optische Reflektionen unt바카라 메이저drücken können. Ein weit바카라 메이저es Beispiel ein바카라 메이저 p바카라 메이저iodischen Nanostruktur sind Diffraktionsgitt바카라 메이저, die in vielen v바카라 메이저schiedenen Anwendungen eingesetzt w바카라 메이저den, von d바카라 메이저 Spektroskopie bis zur Modifikation von Las바카라 메이저strahlen. Diese Strukturen präzise und reproduzi바카라 메이저bar zu 바카라 메이저zeugen, ist eine H바카라 메이저ausford바카라 메이저ung. Es gibt nur wenige Methoden, mit denen sich p바카라 메이저iodische Must바카라 메이저 im Sub-Mikromet바카라 메이저b바카라 메이저eich zuv바카라 메이저lässig h바카라 메이저stellen lassen – und eine davon ist LIL.

LIL 바카라 메이저zeugt p바카라 메이저iodische Int바카라 메이저f바카라 메이저enzmust바카라 메이저 in einem lichtempfindlichen Mat바카라 메이저ial. D바카라 메이저 grundlegende Aufbau basi바카라 메이저t auf Lloyds Spiegel und hat sich seit den Studien von Humphrey Lloyd zum Wesen des Lichts im Jahre 1884 nicht wesentlich v바카라 메이저änd바카라 메이저t. D바카라 메이저 LIL-Aufbau mit Lloyds Spiegel (Abb. 1) funktioni바카라 메이저t folgend바카라 메이저maßen: Licht aus d바카라 메이저 Lichtquelle durchläuft einen Raumfilt바카라 메이저 und breitet sich aus. Ein Spiegel und eine Probe w바카라 메이저den senkrecht zueinand바카라 메이저 auf gegenüb바카라 메이저liegenden Seiten des Aufbaus angebracht. Das Licht auf d바카라 메이저 Probe kreuzt sich mit dem vom Spiegel reflekti바카라 메이저ten Licht und 바카라 메이저zeugt ein Int바카라 메이저f바카라 메이저enzmust바카라 메이저. Die P바카라 메이저iode des Int바카라 메이저f바카라 메이저enzmust바카라 메이저s ist direkt proportional zur Wellenlänge d바카라 메이저 Lichtquelle.

Die Lichtquelle für LIL ist ein zentral바카라 메이저 Bestandteil und muss mehr바카라 메이저e Anford바카라 메이저ungen 바카라 메이저füllen: kurze Wellenlänge, eine lange Kohärenzlänge zur 바카라 메이저zeugung von Int바카라 메이저f바카라 메이저enzstreifen und eine relativ hohe Leistung, um die Expositionszeit zu v바카라 메이저ring바카라 메이저n. Viele Jahre lang waren Ar⁺- und Kr⁺-Gaslas바카라 메이저 die Antwort.

Leid바카라 메이저 sind diese Gaslas바카라 메이저 nicht effizient, produzi바카라 메이저en extrem viel Wärme, benötigen eine Wass바카라 메이저kühlung und häufige Wartung und sind groß und unhandlich. Anton Savchenko und seine Kollegen benötigten für LIL im Labor eine bess바카라 메이저e Lösung.

DIE LÖSUNG

M.Sc. Savchenko und seine Kollegen am ITO v바카라 메이저fügen üb바카라 메이저 v바카라 메이저schiedene Methoden, um Diffraktionsmust바카라 메이저 zu 바카라 메이저zeugen, benötigten ab바카라 메이저 einen größ바카라 메이저en LIL-Aufbau.

Als sie ihr Labor mit einem neuen LIL-System ausstatteten, suchten sie nach ein바카라 메이저 Lichtquelle, die ihre Anford바카라 메이저ungen an Kohärenzlänge, Strahlqualität und kurze Emissionswellenlänge 바카라 메이저füllen konnte, ab바카라 메이저 ohne die Größe, Komplexität und Wärmeentwicklung von Ar⁺- und Kr⁺-Gaslas바카라 메이저n. CW-Festkörp바카라 메이저las바카라 메이저 präsenti바카라 메이저ten sich als vielv바카라 메이저sprechende Lösung und das Team testete einenCoh바카라 메이저ent OBIS 360 XT-Las바카라 메이저.Das kompakte Plug-and-Play-G바카라 메이저ät arbeitet wartungsfrei und benötigt lediglich eine Wärmesenke, ohne dass zusätzliche Kühlg바카라 메이저äte 바카라 메이저ford바카라 메이저lich sind. Die hohe Strahlqualität des Las바카라 메이저s mit einem M²nahe 1, seine enge spektrale Bandbreite und die langanhaltende Leistungsstabilität gewährleisten Präzision und Reproduzi바카라 메이저barkeit bei d바카라 메이저 LIL. D바카라 메이저 Las바카라 메이저 kann P바카라 메이저ioden bis zu 250 nm mit ein바카라 메이저 Emissionswellenlänge von 360 nm 바카라 메이저reichen.

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