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도전

Anton Savchenko는 다음 분야의 초기 단계 연구원입니다.슈투트가르트 대학교에서. 그와 그의 동료들은 레이저 간섭 리소그래피(LIL)를 사용하여 마이크로 및 나노 구조를 만듭니다.

주기적인 마이크로 및 나노 구조는 자연에서 흔히 발견되며 기술 분야에서 널리 사용됩니다. 연구자들은 광학계의 원치 않는 반사를 억제할 수 있는 나방의 눈 표면에서 발견되는 것과 유사한 나노구조를 만들었습니다. 주기적인 나노구조의 또 다른 예는 회절 격자이며, 이는 분광학에서 레이저 빔 수정에 이르기까지 매우 광범위한 응용 분야를 가지고 있습니다. 이러한 구조를 정확하고 반복적으로 만드는 것은 어려운 일입니다. 서브미크론 주기적 패터닝을 안정적으로 생성할 수 있는 방법은 거의 없으며 LIL이 그 중 하나입니다.

LIL은 감광성 물질에 주기적인 간섭 패턴을 생성합니다. 기본 설정은 Lloyd의 거울을 기반으로 하며 1884년 Humphrey Lloyd의 빛의 본질에 대한 연구와 크게 변경되지 않았습니다. Lloyd의 거울(그림 1)을 사용한 LIL 설정은 다음과 같이 작동합니다. 광원에서 나온 빛은 공간 필터를 통과하고 전파 시 확장됩니다. 거울과 샘플은 설정 반대쪽에 수직으로 장착됩니다. 샘플의 빛은 거울에서 반사된 빛과 간섭하여 간섭 패턴을 만듭니다. 간섭무늬의 주기는 광원의 파장에 정비례합니다.

LIL의 광원은 중요한 구성 요소이며 짧은 파장, 간섭 줄무늬를 생성하는 긴 간섭 길이, 노출 시간을 줄이기 위한 상대적으로 높은 출력 등 여러 요구 사항을 충족해야 합니다. 수년 동안 Ar⁺그리고 크르⁺가스 레이저가 답이었습니다.

안타깝게도 이러한 가스 레이저는 효율적이지 않고 엄청난 양의 열을 발생시키며 수냉식과 빈번한 유지 관리가 필요하고 부피가 큽니다. Anton Savchenko와 그의 동료들은 연구실에서 LIL을 위한 더 나은 솔루션이 필요했습니다.

솔루션

엠. SC. ITO의 Savchenko와 그의 동료들은 회절 패턴을 생성하는 여러 가지 방법을 가지고 있지만 더 넓은 영역의 LIL 설정이 필요했습니다.

그들은 연구실에 새로운 LIL 시스템을 설치하기로 결정했을 때 Ar의 크기, 복잡성 및 열 없이 간섭 길이, 빔 품질, 짧은 방출 파장에 대한 기준을 충족할 수 있는 광원을 찾았습니다.⁺및 크르⁺가스 레이저. CW 고체 레이저는 유망한 솔루션으로 보였으며 팀은 다음을 테스트했습니다.바카라 카지노 OBIS 360 XT 레이저. 소형 플러그 앤 플레이 장치는 유지 관리가 필요 없으며 추가 냉각 장치 없이 방열판만 필요합니다. M이 있는 레이저의 고품질 빔²1에 가깝고 좁은 스펙트럼 대역폭과 장기적인 전력 안정성이 결합되어 LIL의 정확성과 재현성을 보장합니다. 레이저는 360nm의 방출 파장으로 최소 250nm의 주기를 달성할 수 있습니다.

결과

OBIS 360 XT 레이저가 장착된 내부 레이저 간섭 리소그래피 설정은 다양한 주기적인 나노구조를 제작하는 ITO의 능력을 강화했습니다. 이제 직경 180mm에 달하는 영역에서 서브미크론 회절 격자를 생산할 수 있습니다. 그림 2는 제작된 회절 격자의 예를 보여줍니다. 이 시스템을 통해 목표로 삼고 있는 또 다른 응용 분야는 하위 파장 회절 격자를 사용하여 격자 도파관 구조를 활용하는 레이저 빔 편광 상태를 제어하는 것입니다.

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