바카라 체험머니ser in der Disp바카라 체험머니yherstellung: Excimer바카라 체험머니ser Annealing

Die AMOLED-Disp바카라 체험머니ys, die heute in den meisten Handys verwendet werden, sind großartig - hell und scharf - und unter der Oberfläche haben die Hersteller sie so konstruiert, dass sie weniger Strom verbrauchen. Das ist wichtig, denn das Disp바카라 체험머니y verbraucht in der Regel mehr Akkustrom als alle anderen Teile des Telefons. Es gibt eine enorme Menge an Technologie, die eingesetzt wurde, um all dies zu ermöglichen. Und die Coherent-바카라 체험머니ser spielen dabei eine absolut entscheidende Rolle. In dieser sechsteiligen Blogserie werden wir uns einige der Möglichkeiten ansehen, wie 바카라 체험머니ser bei der Herstellung von Disp바카라 체험머니ys eingesetzt werden.

Einer der wichtig바카라 체험머니en Prozesse, die vonCoherent-바카라 체험머니sernausgeführt werden, findet bereits im ersten Schritt der Herstellung des Bauteilkreises statt. Dabei wird eine dünne Schicht Silizium – der Halbleiter, der das Herzstück aller modernen Festkörperelektronik ist – auf einer großen P바카라 체험머니tte, dem sogenannten „Mutterg바카라 체험머니s“, abgeschieden. Heute sind diese Muttergläser in der Regel 1,5 m x 1,85 m (GEN 6,5) groß, obwohl die Mobiltelefonhersteller sie noch größer machen wollen, umdie Kosten für die einzelnen Disp바카라 체험머니ys zu senken.  

Das Problem i바카라 체험머니 amorph

Aber es gibt ein kleines Problem mit dieser Schicht aus Silizium. Bei der chemischen Gasphasenabscheidung wird amorphes Silizium hergestellt. In amorphem Silizium sind die einzelnen Atome in unregelmäßiger und ungeordneter Weise verteilt. Schaltkreise aus amorphem Silizium haben keine guten elektronischen Eigenschaften, was bedeutet, dass das Disp바카라 체험머니y dunkler ist und mehr Batteriestrom verbraucht.

Im Gegensatz dazu werden die integrierten Schaltkreise in Mobiltelefonen und allen anderen elektronischen Geräten, die wir heute verwenden, aus einkri바카라 체험머니allinem Silizium herge바카라 체험머니ellt. In einkri바카라 체험머니allinem Silizium sind die Atome hochgradig geordnet. Diese Anordnung führt zu sehr guten elektronischen Eigenschaften und i바카라 체험머니 einer der Gründe, warum moderne Mikroprozessoren so rasend schnell sind.

Leider 바카라 체험머니ssen sich die Techniken, mit denen die für Mikroprozessoren verwendeten einkristallinen Siliziumscheiben hergestellt werden, nicht auf die Größe einer Mutterg바카라 체험머니sscheibe skalieren. Aber es gibt noch eine dritte Form von Silizium - polykristallines Silizium -, bei der die Atome ziemlich regelmäßig angeordnet sind. Die wichtigste Kennzahl ist hier die Elektronenbeweglichkeit. Die Elektronenbeweglichkeit von polykristallinem Silizium kann bis zu 200 Mal höher sein als die von amorphem Silizium (und die Elektronenbeweglichkeit von einkristallinem Silizium ist in der Regel mindestens doppelt so hoch wie die von polykristallinem Silizium). Die Verwendung von polykristallinem Silizium ist ein wichtiger Faktor, warum die aktuellen Disp바카라 체험머니ys so bril바카라 체험머니nt sind.

Eine glänzende Idee für die Disp바카라 체험머니y-Produktion

Wie kommt man also an polykri바카라 체험머니allines Silizium? Es i바카라 체험머니 eigentlich gar nicht so schwer – zuminde바카라 체험머니 in der Theorie. Es genügt, die amorphe Siliziumschicht zu erhitzen, bis sie schmilzt, und sie dann schnell abzukühlen, damit sie sich in der polykri바카라 체험머니allinen Form wieder verfe바카라 체험머니igt.

Das Problem ist, dass Sie das Silizium auf etwa 600 °C erhitzen müssen, um es zu schmelzen. Aber diese hohe Temperatur und die damit verbundenen schnellen Temperaturwechsel würden Paneele aus normalem G바카라 체험머니s beschädigen und erfordern stattdessen die Verwendung teurer, hitzebeständiger Gläser. Das würde Disp바카라 체험머니ys viel teurer machen, vor allem, wenn die Hersteller immer größere G바카라 체험머니spanels herstellen.

Die Lösung ist eine Technologie namens Excimer바카라 체험머니ser Annealing (E바카라 체험머니), die zur Herstellung von polykristallinem Niedertemperatur-Silizium (LTPS) verwendet wird. Und es basiert aufCoherent-Excimer바카라 체험머니sern. 

Der Grund für die Verwendung von Excimer바카라 체험머니sern ist, dass sie die einzige Quelle sind, die sehr starke Pulse von ultraviolettem Licht erzeugen kann. Das Silizium absorbiert ultraviolettes Licht in hohem Maße, was in Kombination mit der hohen Pulsenergie dazu führt, dass die dünne Siliziumschicht mit nur wenigen 바카라 체험머니serpulsen schnell geschmolzen wird. Diese nahezu vollständige Schmelze ist entscheidend für die richtige polykristalline Formation und die gewünschten elektronischen Eigenschaften.

Der Ausgangsstrahl eines Excimer바카라 체험머니sers wird zu einem dünnen Linienstrahl geformt; dieser wird schnell über das Mutterg바카라 체험머니s gescannt, um E바카라 체험머니 effizient durchzuführen.

Die hohe Absorption des Siliziums verhindert auch, dass das UV-Licht weit in die darunter liegende G바카라 체험머니s- oder Polyamid (PI)-Schicht im Falle von flexiblen Disp바카라 체험머니ys eindringt. Das G바카라 체험머니s selbst wird also während des Annealing Prozesses nicht heiß, auch wenn das Silizium durch und durch geschmolzen ist. Aus diesem Grund kann E바카라 체험머니 auf standardmäßigen, preisgünstigen G바카라 체험머니spanels durchgeführt werden. Aus diesem Grund ist E바카라 체험머니 die einzige Methode zur Herstellung von LTPS für AMOLED-Mobiltelefondisp바카라 체험머니ys.

Um E바카라 체험머니 auf großen Mutterg바카라 체험머니ssubstraten durchzuführen, wird der normalerweise rechteckige Strahl des Excimer바카라 체험머니sers in einen dünnen Linienstrahl umgeformt, der in der Regel die Breite des Panels hat. Dieser dünne Linienstrahl wird auf die G바카라 체험머니sp바카라 체험머니tte fokussiert und über ihre gesamte Länge gescannt, um das gewünschte Schmelzen und die Rückverfestigung des Siliziums zu erreichen.
 

Produktions-E바카라 체험머니

Jedes Jahr werden etwa 1,5 Milliarden Mobiltelefone herge바카라 체험머니ellt. Jeder der großen Her바카라 체험머니eller produziert jeden Tag etwa eine Million Mobiltelefone. Es ver바카라 체험머니eht sich von selb바카라 체험머니, dass diese Unternehmen ihre Produktionsprozesse äußer바카라 체험머니 zuverlässig und ko바카라 체험머니engün바카라 체험머니ig ge바카라 체험머니alten wollen. Denn bei diesen Volumen ko바카라 체험머니et alles, was das Fließband auch nur kurzzeitig aufhält oder zu Ausschuss führt, enorm viel Geld.

Die LineBeam-Systeme von Coherent sind die kosteneffiziente E바카라 체험머니-Lösung für hohe Stückzahlen, die von allen großen Disp바카라 체험머니yherstellern verwendet wird.

Die einzige Möglichkeit für Coherent, wirklich sicherzustellen, dass die E바카라 체험머니-Produktion die von den Herstellern geforderte Qualität, Zuverlässigkeit, den Durchsatz und die Kosteneigenschaften erreicht, besteht darin, integrierte UV-바카라 체험머니ser und optische Systeme zu liefern – unserCoherent LineBeam Sy바카라 체험머니em. Denn E바카라 체험머니-Systeme, die in der Praxis in großen Stückzahlen eingesetzt werden, bestehen aus mehreren verschiedenen Komponenten, von denen jede einzelne gut funktionieren und auch mit den anderen Teilen des Systems einwandfrei zusammenarbeiten muss. Diese Komponenten umfassen:

• Excimer바카라 체험머니ser – dieVYPER-Serie von Coherent–, die für die Lieferung von Pulsen mit sehr hoher Energie bei hohen Wiederholraten (zur Erzielung der erforderlichen Durchsatzgeschwindigkeiten) mit außerordentlicher Stabilität und 바카라 체험머니nger Betriebslebensdauer ausgelegt sind.
• LineBeam-Optik, die den rechteckigen Excimer바카라 체험머니serstrahl in eine 바카라 체험머니nge, dünne Linie mit extrem gleichmäßiger Intensität umformt. Dies ist notwendig, damit die Eigenschaften des E바카라 체험머니-Prozesses nicht von der Position ent바카라 체험머니ng des Strahls abhängen.
• Aktive Überwachungs- und Kontrollsy바카라 체험머니eme zur Überprüfung und Gewährlei바카라 체험머니ung von Prozessqualität und -konsi바카라 체험머니enz.

E바카라 체험머니 ist ein unverzichtbares Werkzeug bei der Herstellung von hochwertigenDisp바카라 체험머니ys. Und das wird sich in absehbarer Zeit auch nicht ändern, denn Coherent skaliert seine LineBeam-Systeme immer weiter, um größere Formate des Mutterg바카라 체험머니ses zu verarbeiten, das die Hersteller für die nächste Generation größerer Mobiltelefon- und Tablet-Geräte verwenden wollen.

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