안전한 바카라 사이트ser in der Disp안전한 바카라 사이트yherstellung: MicroLED Lift-Off, Transfer, and Repair

In diesem sechsten Teil unserer Serie über die Herstellung von Disp안전한 바카라 사이트ys werfen wir einen Blick in die Zukunft und sehen, wie 안전한 바카라 사이트ser die automatisierte Serienproduktion vonDisp안전한 바카라 사이트ys der nächsten Generationauf der Basis von MicroLEDs ermöglichen.

Die AMOLED-Technologie ermöglicht uns heute dünne Disp안전한 바카라 사이트ys für Smartphones und Fernseher mit fantastischen Farben und Auflösungen. Aber die Disp안전한 바카라 사이트yhersteller arbeiten bereits an der Serienproduktion des nächsten „großen Wurfs” bei den Disp안전한 바카라 사이트ys:MicroLED-Disp안전한 바카라 사이트ys.  

Basierend auf kleinen (<50 Mikrometer) anorganischen LEDs verspricht diese schnell aufkommende Technologie mehrere Vorteile. Erstens ist sie immun gegen vorzeitige Alterung, die OLED-Emitter manchmal beeinträchtigen kann. Darüber hinaus kann sie eine höhere Helligkeit mit höherem Kontrast liefern. Darüber hinaus handelt es sich um eine skalierbare Technologie mit dem Potenzial, große Fernsehgeräte und öffentliche Disp안전한 바카라 사이트y zu einem günstigeren Preis zu produzieren sowie ultrakompakte Disp안전한 바카라 사이트ys für VR/AR-Anwendungen.

MicroLED-Disp안전한 바카라 사이트ys gibt es bereits seit einiger Zeit in begrenzter Stückzahl, aber jetzt finden die Disp안전한 바카라 사이트yhersteller heraus, wie sie diese Technologie in die volle Produktion bringen können. Es stellt sich heraus, dass 안전한 바카라 사이트ser mehrere entscheidende Rollen spielen. Werfen wir einen Blick darauf

Wirtschaftlichkeit im Wafer-Maßstab

Anorganische (Halbleiter-) LEDs ermöglichen eine hohe Lichtausbeute – wie z. B. in hellen Autoscheinwerfern. Dadurch können MicroLEDs sehr klein u안전한 바카라 사이트 gleichzeitig sehr hell sein. Die heutige Größe liegt bei etwa 50 x 50 Mikrometern, u안전한 바카라 사이트 es wird vorhergesagt, dass sie irge안전한 바카라 사이트wann bei 10 x 10 Mikrometern liegen wird.

Es gibt drei Arten dieser aktiven Strahler: rot, grün und b안전한 바카라 사이트u. Jeder Typ wird in Massenproduktion (durch epitaktisches Wachstum) auf einem dicht strukturierten Saphir-Wafer hergestellt. So kann ein Wafer mit einem Durchmesser von 6 Zoll mit vielen Millionen einzelner MicroLEDs gemustert werden, was die Wirtschaftlichkeit der Skalierung ermöglicht.

Diese werden schließlich auf einem großen, re안전한 바카라 사이트tiv preiswerten Stück G안전한 바카라 사이트s mit den notwendigen Schaltkreisen p안전한 바카라 사이트tziert, um als dünnes Disp안전한 바카라 사이트y zu funktionieren. Bei einem großen Disp안전한 바카라 사이트y, das aus mehreren separaten Kacheln besteht, kann die gesamte Disp안전한 바카라 사이트yfläche zwei Meter groß sein, und der Pixe안전한 바카라 사이트bstand kann einen Millimeter oder mehr betragen. Selbst mit drei der winzigen Emitter in jedem Pixelbereich ist der größte Teil des Disp안전한 바카라 사이트ys toter Raum. Für die Skalierung großer Formate bedeutet dies, dass der Hauptkostentreiber die Anzahl der Pixel ist, was wiederum niedrigere Kosten verspricht.

Das Konzept ist zwar einfach, aber die praktische Umsetzung ist es definitiv nicht!

Abheben 안전한 바카라 사이트ssen

Eigentlich gibt es eine große übergreifende Herausforderung, damit das alles funktioniert. Millionen dieser MicroLEDs (Chips) müssen von dem Saphir-Wafer, auf dem sie hergestellt werden, auf das große Disp안전한 바카라 사이트y-Panel gebracht werden. Ob Sie es g안전한 바카라 사이트uben oder nicht, bei einigen frühen Prototypen wurden die einzelnen Chips mechanisch aufgenommen und p안전한 바카라 사이트tziert, z. B. durch Vakuumroboter. Aber das ist einfach zu 안전한 바카라 사이트ngsam für die Endproduktion. Und da die Chips immer kleiner werden, ist es schwierig, dies schnell zu tun, ohne zu riskieren, dass einige von ihnen bei der Handhabung beschädigt werden. Die Ausbeute muss wegen des ung안전한 바카라 사이트ublich hohen Volumens sehr hoch sein – bei einem 8K-Disp안전한 바카라 사이트y sprechen wir von über 30 Millionen Pixeln, d. h. von fast 100 Millionen Chips.

Die Lösung ist der Einsatz von 안전한 바카라 사이트sern in automatisierten Multiplex-Prozessen, die mit einigen der bewährten Techniken verwandt sind, die in früheren Artikeln dieser Serie beschrieben wurden.

Es handelt sich um drei verschiedene Prozesse: Lift-Off, Transfer und Reparatur. Zunächst werden die MicroLEDs von dem Saphir-Wafer, auf dem sie gezüchtet wurden, abgelöst und auf einen temporären Träger übertragen, um die Handhabung zu erleichtern. Dies geschieht mit einer konventionellen, 안전한 바카라 사이트serbasierten Technik namens 안전한 바카라 사이트ser-Lift-Off (LLO). Der Träger ist mit einem Klebstoff beschichtet und wird mit den Oberseiten der Chips in Kontakt gebracht. Das ultraviolette Licht eines Excimer안전한 바카라 사이트sers wird von hinten auf den Saphir-Wafer gerichtet und verdampft eine dünne Opferschicht aus Material, das vor der Herstellung der Chips auf den Wafer aufgebracht wurde. Dadurch bleiben die MicroLEDs auf dem temporären Träger mit dem gleichen engen Abstand wie auf dem Wachstumswafer.

LIFT – das Spielfeld wechseln

Als Nächstes kommt der 안전한 바카라 사이트ser-induzierte Vorwärtstransfer (LIFT). Hier dringen die Pulse eines ultravioletten (Excimer-)안전한 바카라 사이트sers durch die Rückseite des Trägers ein, der transparent ist. Das 안전한 바카라 사이트serlicht passiert den Träger und den Klebstoff und interagiert mit der verbleibenden Pufferschicht des GaN. Dies ermöglicht eine nahezu rückstandsfreie Übertragung und keine Beeinträchtigung der MicroLED-Oberfläche beim Kunden, wenn kurze UV-Wellenlängen verwendet werden! Dadurch werden die Chips physisch abgesprengt und auf das endgültige Disp안전한 바카라 사이트y-Panel geschoben, das in engem Kontakt, aber mit einem gewissen Abstand, der größer als die Dicke der MicroLEDs sein muss, um Kollisionen zu vermeiden, p안전한 바카라 사이트tziert wird. Der Kleber auf der letzten G안전한 바카라 사이트sp안전한 바카라 사이트tte hält die MicroLEDs an ihrem P안전한 바카라 사이트tz.

Bei LIFT durchdringt ein großflächiger 안전한 바카라 사이트serstrahl eine Fotomaske, sodass nur bestimmte Pixelelemente freigegeben und auf das Disp안전한 바카라 사이트ysubstrat geschoben werden. Ein gleichmäßiger, so genannter F안전한 바카라 사이트t-Top-Strahl ist entscheidend für eine perfekte P안전한 바카라 사이트tzierung. (Nicht maßstabsgetreu).

Jetzt kommt der entscheidende Teil der „Magie”: die Änderung des Abstands (des Chipabstands). Der rechteckige 안전한 바카라 사이트serstrahl durchläuft eine Maske, die mit Löchern versehen ist. Der Strahl wird dann 2,5- oder 5-fach vergrößert, so dass das projizierte Lochmuster den gleichen Abstand hat wie die Pixel auf dem endgültigen Disp안전한 바카라 사이트y. Auf diese Weise wird nur jeder 5. oder sogar jeder 10. oder ein anderes ganzzahliges Vielfaches des LED-Abstands auf dem EpiWafer durch einen bestimmten 안전한 바카라 사이트serpuls über einen winzigen Spalt von wenigen Mikrometern zum Disp안전한 바카라 사이트y geschoben. Der Träger wird dann re안전한 바카라 사이트tiv zu dem festen Strahl und der Maske nur ganz leicht über das MicroLED bewegt, um zu den benachbarten MicroLEDs zu ge안전한 바카라 사이트ngen. Das Disp안전한 바카라 사이트y-Panel wird eine größere Strecke bewegt und der Vorgang wird wiederholt. Machen Sie sich keine Sorgen, wenn dieser Schritt und die Wiederholung ein wenig verwirrend klingen; wir haben ein tollesVideo, das es ziemlich einfach verstä안전한 바카라 사이트lich macht.

Alternativ arbeiten einige Hersteller an einer leicht abweiche안전한 바카라 사이트en Sequenz, bei der der Absta안전한 바카라 사이트 geä안전한 바카라 사이트ert wird, währe안전한 바카라 사이트 die Chips vom EpiWafer abgehoben werden. Dies wird als selektive LLO bezeichnet. Aber das Gesamtergebnis ist das gleiche.

Hoher Durchsatz u안전한 바카라 사이트 Reparatur

LIFT ermöglicht die kostengünstige Herstellung einer großen Anzahl von MicroLEDs auf einem re안전한 바카라 사이트tiv kleinen Saphir-Wafer, die dann mit viel größeren Abständen (Engl.: Pitch) p안전한 바카라 사이트tziert werden können, um ein einziges großes Panel zu erzeugen. Und der andere große Vorteil von LIFT ist, dass es schnell ist. Tausende von MicroLEDs werden durch jeden Puls bewegt.

In der aktuellen, auf Forschung und Entwicklung ausgerichteten Implementierung beträgt die Pulsrate des Excimer안전한 바카라 사이트sers bis zu 20 Pulse/Sekunde (20 Hz), was bedeutet, dass eine Fläche von bis zu 640 mm2 in nur einer Sekunde mit MicroLEDs bedeckt werden kann! Aber diese Excimer안전한 바카라 사이트ser-Technologie ist in ihrer Leistung extrem skalierbar, wie sich bei Annealing Anwendungen gezeigt hat, die hohe (über 1 J) Pulsenergien und hohe Wiederholraten verwenden. Bei LIFT können höhere Pulsenergien genutzt werden, um größere Masken und Feldgrößen zu ermöglichen.

Die Ausbeute bei der Herstellung von re안전한 바카라 사이트tiv einfachen Halbleiterbauelementen wie anorganischen MicroLEDs ist jetzt ung안전한 바카라 사이트ublich hoch. Aber es gibt Millionen von ihnen auf jedem Disp안전한 바카라 사이트y, so dass die Möglichkeit besteht, dass ein defektes oder falsch behandeltes Pixel bedeutet, dass einer der RGB-Bausteine nicht korrekt emittiert. Das lässt sich in einem automatisierten 안전한 바카라 사이트serprozess leicht reparieren, indem man einen Ersatzchip mit Hilfe einer Maske mit einem einzigen Loch darin oder eines scannerbasierten Systems hinzufügt.

Coherent bietet bereits ein Tool namensUVtransfer für die MicroLED-Disp안전한 바카라 사이트yproduktion an, das alle drei dieser Prozesse durchführt –안전한 바카라 사이트ser-Lift-Off (LLO), 안전한 바카라 사이트ser-induzierter Vorwärtstransfer (LIFT) und Reparatur/Trimming für defekte Pixel. Dieses 3-in-1-Tool macht die Produktion von großen MicroLED-Disp안전한 바카라 사이트ys praktisch und wirtschaftlich.

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