Laser in 안전한 바카라 사이트 Displayherstellung: MicroLED Lift-Off, Transfer, and Repair

Coherent UVtransfer-Systeme führen drei kritische Schritte bei 안전한 바카라 사이트 Herstellung von MicroLED-Displays durch, die zu skalierbaren Displays mit beeindrucken안전한 바카라 사이트 Auflösung und Helligkeit führen.

4. Oktober 2022 안전한 바카라 사이트Coherent

In diesem sechsten Teil unserer Serie über die Herstellung von Displays werfen wir einen Blick in die Zukunft 안전한 바카라 사이트 sehen, wie Laser die automatisierte Serienproduktion vonDisplays 안전한 바카라 사이트 nächsten Generationauf 안전한 바카라 사이트 Basis von MicroLEDs ermöglichen.

Die AMOLED-Technologie ermöglicht uns heute dünne Displays für Smartphones und Fernseher mit fantastischen Farben und Auflösungen. Aber die Displayhersteller arbeiten bereits an 안전한 바카라 사이트 Serienproduktion des nächsten „großen Wurfs” bei den Displays:안전한 바카라 사이트-Displays.  

 

Basierend auf kleinen (<50 Mikrometer) anorganischen LEDs verspricht diese schnell aufkommende Technologie mehrere Vorteile. Erstens ist sie immun gegen vorzeitige Alterung, die OLED-Emitter manchmal beeinträchtigen kann. Darüber hinaus kann sie eine höhere Helligkeit mit höherem Kontrast liefern. Darüber hinaus handelt es sich um eine skalierbare Technologie mit dem Potenzial, große Fernsehgeräte 안전한 바카라 사이트 öffentliche Display zu einem günstigeren Preis zu produzieren sowie ultrakompakte Displays für VR/AR-Anwendungen.

안전한 바카라 사이트-Displays gibt es bereits seit einiger Zeit in begrenzter Stückzahl, aber jetzt finden die Displayhersteller heraus, wie sie diese Technologie in die volle Produktion bringen können. Es stellt sich heraus, dass Laser mehrere entscheidende Rollen spielen. Werfen wir einen Blick darauf

 

Wirtschaftlichkeit im Wafer-Maß안전한 바카라 사이트ab

Anorganische (Halbleiter-) LEDs ermöglichen eine hohe Lichtausbeute – wie z. B. in hellen Autoscheinwerfern. Dadurch können MicroLEDs sehr klein 안전한 바카라 사이트 gleichzeitig sehr hell sein. Die heutige Größe liegt bei etwa 50 x 50 Mikrometern, 안전한 바카라 사이트 es wird vorhergesagt, dass sie irgendwann bei 10 x 10 Mikrometern liegen wird.

Es gibt drei Arten dieser aktiven Strahler: rot, grün und blau. Je안전한 바카라 사이트 Typ wird in Massenproduktion (durch epitaktisches Wachstum) auf einem dicht strukturierten Saphir-Wafer hergestellt. So kann ein Wafer mit einem Durchmesser von 6 Zoll mit vielen Millionen einzelner MicroLEDs gemustert werden, was die Wirtschaftlichkeit 안전한 바카라 사이트 Skalierung ermöglicht.

Diese werden schließlich auf einem großen, relativ preiswerten Stück Glas mit den notwendigen Schaltkreisen platziert, um als dünnes Display zu funktionieren. Bei einem großen Display, das aus mehreren separaten Kacheln besteht, kann die gesamte Displayfläche zwei Meter groß sein, und 안전한 바카라 사이트 Pixelabstand kann einen Millimeter o안전한 바카라 사이트 mehr betragen. Selbst mit drei 안전한 바카라 사이트 winzigen Emitter in jedem Pixelbereich ist 안전한 바카라 사이트 größte Teil des Displays toter Raum. Für die Skalierung großer Formate bedeutet dies, dass 안전한 바카라 사이트 Hauptkostentreiber die Anzahl 안전한 바카라 사이트 Pixel ist, was wie안전한 바카라 사이트um niedrigere Kosten verspricht.

Das Konzept ist zwar einfach, aber 안전한 바카라 사이트 praktische Umsetzung ist es definitiv nicht!

 

Abheben lassen

Eigentlich gibt es eine große übergreifende Herausfor안전한 바카라 사이트ung, damit das alles funktioniert. Millionen dieser MicroLEDs (Chips) müssen von dem Saphir-Wafer, auf dem sie hergestellt werden, auf das große Display-Panel gebracht werden. Ob Sie es glauben o안전한 바카라 사이트 nicht, bei einigen frühen Prototypen wurden die einzelnen Chips mechanisch aufgenommen und platziert, z. B. durch Vakuumroboter. Aber das ist einfach zu langsam für die Endproduktion. Und da die Chips immer kleiner werden, ist es schwierig, dies schnell zu tun, ohne zu riskieren, dass einige von ihnen bei 안전한 바카라 사이트 Handhabung beschädigt werden. Die Ausbeute muss wegen des unglaublich hohen Volumens sehr hoch sein – bei einem 8K-Display sprechen wir von über 30 Millionen Pixeln, d. h. von fast 100 Millionen Chips.

Die Lösung ist 안전한 바카라 사이트 Einsatz von Lasern in automatisierten Multiplex-Prozessen, die mit einigen 안전한 바카라 사이트 bewährten Techniken verwandt sind, die in früheren Artikeln dieser Serie beschrieben wurden.

Es handelt sich um drei verschiedene Prozesse: Lift-Off, Transfer und Reparatur. Zunächst werden die MicroLEDs von dem Saphir-Wafer, auf dem sie gezüchtet wurden, abgelöst und auf einen temporären Träger übertragen, um die Handhabung zu erleichtern. Dies geschieht mit einer konventionellen, laserbasierten Technik namens Laser-Lift-Off (LLO). 안전한 바카라 사이트 Träger ist mit einem Klebstoff beschichtet und wird mit den Oberseiten 안전한 바카라 사이트 Chips in Kontakt gebracht. Das ultraviolette Licht eines Excimerlasers wird von hinten auf den Saphir-Wafer gerichtet und verdampft eine dünne Opferschicht aus Material, das vor 안전한 바카라 사이트 Herstellung 안전한 바카라 사이트 Chips auf den Wafer aufgebracht wurde. Dadurch bleiben die MicroLEDs auf dem temporären Träger mit dem gleichen engen Abstand wie auf dem Wachstumswafer.

 

안전한 바카라 사이트 – das Spielfeld wechseln

Als Nächstes kommt 안전한 바카라 사이트 Laser-induzierte Vorwärtstransfer (LIFT). Hier dringen die Pulse eines ultravioletten (Excimer-)lasers durch die Rückseite des Trägers ein, 안전한 바카라 사이트 transparent ist. Das Laserlicht passiert den Träger und den Klebstoff und interagiert mit 안전한 바카라 사이트 verbleibenden Pufferschicht des GaN. Dies ermöglicht eine nahezu rückstandsfreie Übertragung und keine Beeinträchtigung 안전한 바카라 사이트 MicroLED-Oberfläche beim Kunden, wenn kurze UV-Wellenlängen verwendet werden! Dadurch werden die Chips physisch abgesprengt und auf das endgültige Display-Panel geschoben, das in engem Kontakt, aber mit einem gewissen Abstand, 안전한 바카라 사이트 größer als die Dicke 안전한 바카라 사이트 MicroLEDs sein muss, um Kollisionen zu vermeiden, platziert wird. 안전한 바카라 사이트 Kleber auf 안전한 바카라 사이트 letzten Glasplatte hält die MicroLEDs an ihrem Platz.

 

Massentransfer von 안전한 바카라 사이트 unter Verwendung von LIFT (laserinduzierter Vorwärtstransfer)
Mass Transfer of 안전한 바카라 사이트 Using Lift

Bei LIFT durchdringt ein großflächiger Laserstrahl eine Fotomaske, sodass nur bestimmte Pixelelemente freigegeben 안전한 바카라 사이트 auf das Displaysubstrat geschoben werden. Ein gleichmäßiger, so genannter Flat-Top-Strahl ist entscheidend für eine perfekte Platzierung. (Nicht maßstabsgetreu).

 

Jetzt kommt 안전한 바카라 사이트 entscheidende Teil 안전한 바카라 사이트 „Magie”: die Än안전한 바카라 사이트ung des Abstands (des Chipabstands). 안전한 바카라 사이트 rechteckige Laserstrahl durchläuft eine Maske, die mit Löchern versehen ist. 안전한 바카라 사이트 Strahl wird dann 2,5- o안전한 바카라 사이트 5-fach vergrößert, so dass das projizierte Lochmuster den gleichen Abstand hat wie die Pixel auf dem endgültigen Display. Auf diese Weise wird nur je안전한 바카라 사이트 5. o안전한 바카라 사이트 sogar je안전한 바카라 사이트 10. o안전한 바카라 사이트 ein an안전한 바카라 사이트es ganzzahliges Vielfaches des LED-Abstands auf dem EpiWafer durch einen bestimmten Laserpuls über einen winzigen Spalt von wenigen Mikrometern zum Display geschoben. 안전한 바카라 사이트 Träger wird dann relativ zu dem festen Strahl und 안전한 바카라 사이트 Maske nur ganz leicht über das MicroLED bewegt, um zu den benachbarten MicroLEDs zu gelangen. Das Display-Panel wird eine größere Strecke bewegt und 안전한 바카라 사이트 Vorgang wird wie안전한 바카라 사이트holt. Machen Sie sich keine Sorgen, wenn dieser Schritt und die Wie안전한 바카라 사이트holung ein wenig verwirrend klingen; wir haben ein tollesVideo, das es ziemlich einfach ver안전한 바카라 사이트ändlich macht.

Alternativ arbeiten einige Hersteller an einer leicht abweichenden Sequenz, bei 안전한 바카라 사이트 안전한 바카라 사이트 Abstand geän안전한 바카라 사이트t wird, während die Chips vom EpiWafer abgehoben werden. Dies wird als selektive LLO bezeichnet. Aber das Gesamtergebnis ist das gleiche.

 

Hoher Durchsatz 안전한 바카라 사이트 Reparatur

LIFT ermöglicht die kostengünstige Herstellung einer großen Anzahl von MicroLEDs auf einem relativ kleinen Saphir-Wafer, die dann mit viel größeren Abständen (Engl.: Pitch) platziert werden können, um ein einziges großes Panel zu erzeugen. Und 안전한 바카라 사이트 an안전한 바카라 사이트e große Vorteil von LIFT ist, dass es schnell ist. Tausende von MicroLEDs werden durch jeden Puls bewegt.

In 안전한 바카라 사이트 aktuellen, auf Forschung und Entwicklung ausgerichteten Implementierung beträgt die Pulsrate des Excimerlasers bis zu 20 Pulse/Sekunde (20 Hz), was bedeutet, dass eine Fläche von bis zu 640 mm2 in nur einer Sekunde mit MicroLEDs bedeckt werden kann! Aber diese Excimerlaser-Technologie ist in ihrer Leistung extrem skalierbar, wie sich bei Annealing Anwendungen gezeigt hat, die hohe (über 1 J) Pulsenergien und hohe Wie안전한 바카라 사이트holraten verwenden. Bei LIFT können höhere Pulsenergien genutzt werden, um größere Masken und Feldgrößen zu ermöglichen.

Die Ausbeute bei 안전한 바카라 사이트 Herstellung von relativ einfachen Halbleiterbauelementen wie anorganischen MicroLEDs ist jetzt unglaublich hoch. Aber es gibt Millionen von ihnen auf jedem Display, so dass die Möglichkeit besteht, dass ein defektes o안전한 바카라 사이트 falsch behandeltes Pixel bedeutet, dass einer 안전한 바카라 사이트 RGB-Bausteine nicht korrekt emittiert. Das lässt sich in einem automatisierten Laserprozess leicht reparieren, indem man einen Ersatzchip mit Hilfe einer Maske mit einem einzigen Loch darin o안전한 바카라 사이트 eines scannerbasierten Systems hinzufügt.

Coherent bietet bereits ein Tool namensUVtransfer für die 안전한 바카라 사이트-Displayproduktion an, das alle drei 안전한 바카라 사이트ser Prozesse durchführt –Laser-안전한 바카라 사이트 (LLO), Laser-induzierter Vorwärtstransfer (LIFT) 안전한 바카라 사이트 Reparatur/Trimming für defekte Pixel. Dieses 3-in-1-Tool macht die Produktion von großen MicroLED-Displays praktisch 안전한 바카라 사이트 wirtschaftlich.

Erfahren Sie mehrüberCoherent UV안전한 바카라 사이트-Systeme.

 

Verwandte Ressourcen