고객 성공 스토리
엑시머 레이저로 박막의 파일럿 및 볼륨 펄스 레이저 증착 가능
도전
박막 증착 기술은 MEMS, 반도체, 광전지, OLED 디스플레이, 5G 통신용 RF 필터 등 다양한 시장에 적용됩니다. 점점 더 중요해지는 재료 특성을 지닌 새로운 복합 재료 시스템에는 박막 증착 기술의 지속적인 확장과 품질 개선이 필요하며, 이를 통해 더 넓은 범위의 박막 공정을 지원하는 동시에 공정 최적화의 유연성도 가능해집니다. 네덜란드 엔스헤데에 위치한 펄스 레이저 증착(PLD) 전문 회사인 Solmates는 발전하는 박막 산업을 위해 강력하고 사용자 친화적인 증착 장비를 개발하기 시작했습니다.
해결책
Solmates 팀은 엑시머 레이저 광을 사용하여 전도성 및 비전도성 기판에 복잡한 화학양론의 재료를 증착하는 물리적 기상 증착 방법인 PLD를 사용합니다. PLD 시스템은 증착 매개변수에 대한 완전한 제어를 제공하여 조성, 결정화도, 밀도, 다공성 및 필름 응력과 같은 최종 박막 특성의 엔지니어링을 가능하게 합니다. 박막 제조업체는 다른 증착 기술로는 달성할 수 없는 전기적 및 광학적 박막 특성을 얻을 수 있으며 새로운 재료 시스템 및 응용 분야에도 진출할 수 있습니다. 그만큼바카라 카지노 LEAP 엑시머 레이저 시리즈는 PLD 시스템 처리량을 결정하는 높은(펄스당 최대 1줄) 에너지와 확장 가능한 전력(80~300W)의 조합으로 Solmates에 의해 선택되었습니다. 또한 LEAP 레이저는 연중무휴 산업 신뢰성과 까다로운 대량 생산 환경에서 웨이퍼당 비용 최소화라는 확고한 실적을 보유하고 있습니다.
결과
현재 Solmates PLD 플랫폼은 모든 표준 클러스터 프레임에 통합되어 파일럿 규모 및 대량 생산을 지원할 수 있습니다. 최대 300mm 크기의 산업용 웨이퍼에 고품질 PLD 공정이 도입되면서 산업 고객은 박막 증착 기능을 확장하고 증착 포트폴리오에 약 30개의 새로운 재료 및 재료 시스템을 추가할 수 있습니다.
"바카라 카지노 엑시머 레이저는 펄스 레이저 증착 시스템의 핵심입니다"
— Arjen Janssens, CEO, Solmates, Enschede, 네덜란드
그림 1:Solmates는 발전하는 박막 산업을 위해 강력하고 사용자 친화적인 PLD 증착 장비를 개발하고 있습니다.