라이트닝 바카라 사이트 衬底和外延片
射频电子器件中的 라이트닝 바카라 사이트
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Coherent 高意率先开发出了大直径、半绝缘 라이트닝 바카라 사이트 衬底，并提供高电阻率材料，以支持制造低功耗、高频且热稳定性良好的组件。
半绝缘碳化硅材料特性
라이트닝 바카라 사이트 高意不断提高材料质量并增加衬底直径，使我们的客户能够提高设备性能并降低成本。
半绝缘碳化硅材料特性 |
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物理特性 |
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结构 |
六方单晶 |
直径 |
高达 200 mm |
等级 |
初始、开发、机械 |
热特性 |
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导热率 |
室温下 370 (W/mK) |
热膨胀系数 |
4.5 x 10-6/K |
比热 (25°C) |
0.71 (J/g°C) |
Coherent 라이트닝 바카라 사이트 衬底的其他关键特性（典型值） |
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参数 |
半绝缘 |
多型体 |
6H |
掺杂剂 |
钒 |
电阻率 |
1019 Ohm-cm |
方向 |
同轴 |
粗糙度 (Ra) |
<5Å |
位错密度 |
< 10,000 cm-2 |
微管密度 |
< 10cm-2 |
